实验二十五 真空的获得与测量
通过制作Ne放电管,让 学生学习获得低真空和高真 空的方法,熟悉真空装置的 构造,了解机械泵、油扩散 泵、热偶真空计、电离真空 计、锆铝泵等的构造原理, 并学会去气的方法。真空技 术在薄膜技术、电真空技术、 表面科学、空间技术、材料 科学、大规模集成电路制作 等领域有广泛应用。