实验二十五 真空的获得与测量

    通过制作Ne放电管,让
学生学习获得低真空和高真
空的方法,熟悉真空装置的
构造,了解机械泵、油扩散
泵、热偶真空计、电离真空
计、锆铝泵等的构造原理,
并学会去气的方法。真空技
术在薄膜技术、电真空技术、
表面科学、空间技术、材料
科学、大规模集成电路制作
等领域有广泛应用。