实验二十六 真空镀膜
真空镀膜技术 是一种薄膜制备技 术,广泛应用于光 学、半导体物理、 微电子学及激光技 术等领域。学生通 过在真空镀膜机上 制作高反射膜,了 解真空镀膜机、膜 厚控制仪的构造, 学习它们的使用, 初步掌握介质膜的 薄膜设计理论和薄 膜制备的整个工艺 过程的操作。