实验二十六 真空镀膜

 
    真空镀膜技术
是一种薄膜制备技
术,广泛应用于光
学、半导体物理、
微电子学及激光技
术等领域。学生通
过在真空镀膜机上
制作高反射膜,了
解真空镀膜机、膜
厚控制仪的构造,
学习它们的使用,
初步掌握介质膜的
薄膜设计理论和薄
膜制备的整个工艺
过程的操作。