实验二十七 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率


    薄膜的研究和应用在现
代科学技术中日益广泛,精
确测定薄膜的光学参数十分
重要。椭偏仪可同时测量薄
膜的厚度和折射率等,具有
较灵敏、精度较高、使用方
便等优点,而且是非破坏性
测量。本实验通过测几种样
品的折射率,薄膜厚度和吸
收系数,可让学生了解椭圆
偏振法测量薄膜参数的基本
原理和椭偏仪的构造原理,
学习椭偏仪的使用和计算机
处理数据。