实验二十七 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率
薄膜的研究和应用在现 代科学技术中日益广泛,精 确测定薄膜的光学参数十分 重要。椭偏仪可同时测量薄 膜的厚度和折射率等,具有 较灵敏、精度较高、使用方 便等优点,而且是非破坏性 测量。本实验通过测几种样 品的折射率,薄膜厚度和吸 收系数,可让学生了解椭圆 偏振法测量薄膜参数的基本 原理和椭偏仪的构造原理, 学习椭偏仪的使用和计算机 处理数据。