实验二十八 四极滤质器残余气体分析


    四极滤质器是一种
分析真空系统内残余气
体成分和分压强的设备。
学生通过实验,了解四
极滤质器的构造原理、
特性和主要性能指标,
学习它的使用并掌握识
谱技术,同时学生可学
习真空系统的构造和操
作。