实验二十八 四极滤质器残余气体分析
四极滤质器是一种 分析真空系统内残余气 体成分和分压强的设备。 学生通过实验,了解四 极滤质器的构造原理、 特性和主要性能指标, 学习它的使用并掌握识 谱技术,同时学生可学 习真空系统的构造和操 作。