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扫描探针显微镜及其应用
(陈皓明教授、凌勇副教授)
利用扫描探针显微镜进行原子及纳米尺度的表征、纳米加工和纳米刻蚀、微区热参数分布、材料局域弹性分布、以及生物样品的微观形貌特征等领域的研究。可以在硅表面得到线宽小于30nm的氧化线条,通过扫描探针显微镜中的扫描热显微镜可以定性的分析材料表面的热导分布。拥有美国DI公司生产的扫描探针显微镜和本组自行研制的扫描隧道显微镜、原子力显微镜和超高真空扫描隧道显微镜。